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一种紧凑型偏转会聚离子束的静电透镜

  • 申请号:CN201310689834.3
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
  • 公开(公开)号:CN104715987A
  • 公开(公开)日:2015.06.17
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种紧凑型偏转会聚离子束的静电透镜
申请号 CN201310689834.3 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN104715987A 公开(授权)日 2015.06.17
申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所 发明(设计)人 李海洋;陈平;花磊;谢园园;蒋吉春;刘巍
主分类号 H01J37/12(2006.01)I IPC主分类号 H01J37/12(2006.01)I;H01J37/317(2006.01)I
专利有效期 一种紧凑型偏转会聚离子束的静电透镜 至一种紧凑型偏转会聚离子束的静电透镜 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及质谱中实现离子束偏转会聚功能的离子光学系统,具体的说是利用静电场对离子束实现偏转角度调节及离子束径向会聚功能的一种离子光学透镜。该透镜体积小巧,结构紧凑,包括主透镜电极组件和三维定位绝缘组件,依次施加有不同电压;离子束开始沿透镜轴线方向运动,经过主透镜电极后,离子束的运动方向发生偏转,且在径向方向产生会聚。偏转的角度可以通过主透镜电极电压差来调节,而会聚的焦点通过主透镜的电位来调节。本发明所涉及的紧凑型偏转会聚离子束的静电透镜系统,采用尽量少的电源模块,实现离子束偏转角度和会聚焦面的控制,且减少离子传输损失。

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