专利详情

专利名称	一种真空紫外灯的在线自清洁方法
申请号	CN201310690976.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104707816A	公开（授权）日	2015.06.17
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	李海洋;谢园园;陈平;花磊;侯可勇;赵无垛;陈文东
主分类号	B08B5/02(2006.01)I	IPC主分类号	B08B5/02(2006.01)I;G01N27/64(2006.01)I
专利有效期	一种真空紫外灯的在线自清洁方法至一种真空紫外灯的在线自清洁方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种真空紫外灯的在线自清洁方法，属于单光子电离飞行时间质谱仪的性能优化与维护技术领域，该方法针对真空紫外灯长期使用后光强发生衰减的问题设计得到，主要过程是当真空紫外灯光窗被有机物污染或氧化等导致光强衰减时，在线中等真空下向光窗表面通入一定浓度的氢氧混合气，并且不影响试验的正常进行。由于氢气的强还原性，会在一定程度上使氧化的光窗表面得到复原。另外氢氧混合气还会产生氢氧自由基，与光窗表面粘附的碳氢化合物反应得到易挥发的有机物而从光窗脱附。基于以上过程实现对真空紫外灯的在线自清洁，无需拆卸装置，不影响试验的正常进行，对采集的谱图无干扰，具有操作方便、方法简单、性能稳定可靠、使用寿命长的特点。