专利详情

专利名称	一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法
申请号	CN201510141832.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104698519A	公开（授权）日	2015.06.10
申请（专利权）人	中国科学院国家授时中心	发明（设计）人	刘涛;许冠军;董瑞芳;张首刚
主分类号	G02B5/08(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/08(2006.01)I;G02B1/10(2015.01)I
专利有效期	一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法至一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种低热噪声高反射光学复合膜结构及其制备方法，该低热噪声高反射光学复合膜结构以超低膨胀光学材料为基底；在基底上镀膜，所述膜由蓝宝石膜层和金刚石膜层交替组成多层膜系，蓝宝石膜层和金刚石膜层之间通过键合或光胶方式结合而成。本发明以蓝宝石和金刚石材料为镀膜层，利用这两种材料具有极低的机械损耗因子，可以大大降低镀膜材料的布朗热噪声，同时蓝宝石和金刚石这两种材料的折射率差距较大，可以形成高低膜层，实现较高的反射率。本发明设计的复合膜可以应用于光学参考腔、光学干涉仪、超窄线宽激光器、光学原子钟、引力波探测等高科技领域。