专利详情

专利名称	一种等离子体处理金属表面的实验装置及方法
申请号	CN201510068177.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104694733A	公开（授权）日	2015.06.10
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	邵涛;周中升;章程;王瑞雪;严萍
主分类号	C21D10/00(2006.01)I	IPC主分类号	C21D10/00(2006.01)I
专利有效期	一种等离子体处理金属表面的实验装置及方法至一种等离子体处理金属表面的实验装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种等离子体处理金属表面的实验装置，包括：实验腔，所述实验腔两端分别通过法兰盘A和法兰盘B密封，所述法兰盘A设有进气口，所述法兰盘B设有出气口。所述实验腔顶部经过铜电极A连接高压纳秒脉冲电源阳极，所述实验腔底部经过铜电极B接入地电极；所述高压纳秒脉冲电源阴极接入地电极；脉冲触发器，用以控制所述高压纳秒脉冲电源的触发。本发明还涉及一种使用所述实验装置处理金属表面的方法。本发明实现了将不同大气压下与不同气体成分下的金属处理结合，满足了不同条件下处理的需要，减少了实验成本，缩短了试验时间，提高了实验效率。