专利详情

专利名称	具有光谱测量功能的超高真空多样品转移装置
申请号	CN201520023863.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204374062U	公开（授权）日	2015.06.03
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	王业亮;朱诗雨;王裕琪;邵岩;高鸿均
主分类号	G01N21/01(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/01(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I
专利有效期	具有光谱测量功能的超高真空多样品转移装置至具有光谱测量功能的超高真空多样品转移装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种具有光谱测量功能的超高真空多样品转移装置，包括超高真空转移腔体、光谱测量窗、升降装置、水平悬臂、多样品架、传样装置、手动真空阀、观察窗和超高真空维持装置，超高真空转移腔体上至少设置有六个法兰，光谱测量窗和升降装置分别与腔体顶部的第一法兰和第二法兰密封连接，传样装置和手动真空阀分别与相对设置在腔体的左、右两侧的第三法兰和第四法兰密封连接，升降装置的执行端伸入腔体内，且与水平悬臂的一端连接，多样品架固定在水平悬臂的另一端。本实用新型在不破坏超高真空环境的前提下，实现了样品在不同超高真空系统间的转移以及在暴露于大气中的光学平台上的测量，解决了现有技术存在的相应问题。