专利详情

专利名称	一种基于半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器
申请号	CN201510070473.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104677879A	公开（授权）日	2015.06.03
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	石超;郭舒予;侯鹏翔;刘畅;成会明
主分类号	G01N21/65(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/65(2006.01)I
专利有效期	一种基于半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器至一种基于半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及柔性、透明气体传感器领域，具体为一种基于半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器及其制备方法，利用半导体性单壁碳纳米管柔性透明薄膜构建高性能柔性气体传感器。以半导体性单壁碳纳米管作为气体感应材料，利用浮动催化剂化学气相沉积法制备并收集半导体性单壁碳纳米管薄膜，经热压转移或喷涂工艺制备担载于柔性透明基体上的半导体性单壁碳纳米管柔性、透明薄膜，再利用银胶或电镀方式连接导线与外部的输出设备相连接，完成半导体性单壁碳纳米管的柔性、透明气体传感器基元的组装。本发明实现小而轻、柔性、透明、可弯折、高性能气体传感器的制备，突破目前金属氧化物气体传感器在柔性、透明、可弯折、重量等方面的局限性。