专利详情

专利名称	可转移有序金属纳/微米孔模板的制备方法
申请号	CN201510088559.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104671197A	公开（授权）日	2015.06.03
申请（专利权）人	中国科学院合肥物质科学研究院	发明（设计）人	李新化;史同飞;刘敏;马文霞;张晖;王玉琦
主分类号	B81C1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	可转移有序金属纳/微米孔模板的制备方法至可转移有序金属纳/微米孔模板的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种可转移有序金属纳/微米孔模板的制备方法。它先将聚苯乙烯微球单层密排于基板上后，加热得到粘附有聚苯乙烯微球的基板，再使用氧等离子体刻蚀聚苯乙烯微球，随后，先依次于粘附有松散状有序聚苯乙烯微球的基板上使用电镀或热蒸发或磁控溅射技术沉积底层金属膜和惰性金属膜，得到依次覆有惰性金属膜、底层金属膜和松散状有序聚苯乙烯微球的基板，再使用二氯甲烷溶解掉基板上的聚苯乙烯微球，得到依次覆有其膜中均留有球形孔的惰性金属膜和底层金属膜的基板，接着，腐蚀掉底层金属膜后，将漂浮于腐蚀液中的惰性金属膜捞起，制得产物。它的产物极易于广泛地应用于光伏、生物传感器、有序纳米材料制作、细胞迁移和粘附等领域。