专利详情

专利名称	一种锡铟互连焊点金属间化合物的可控制备方法
申请号	CN201310627424.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104668792A	公开（授权）日	2015.06.03
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	刘志权;田飞飞;尚攀举;郭敬东
主分类号	B23K31/00(2006.01)I	IPC主分类号	B23K31/00(2006.01)I
专利有效期	一种锡铟互连焊点金属间化合物的可控制备方法至一种锡铟互连焊点金属间化合物的可控制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种锡铟互连焊点金属间化合物的可控制备方法，属于微互连焊点结构制备和半导体器件制造工艺技术领域。该方法以铜基体和锡铟无铅焊料为原材料，通过控制反应基板的表面晶向制备不同生长取向或织构形貌的金属间化合物，通过控制时效温度和时间实现不同类型金属间化合物的相互转化，从而改变微互连焊点的力学、电学、磁学和腐蚀等使用性能。本发明基于焊点液态反应中界面化合物的生长机理以及固态反应下金属焊盘和焊料中反应元素的扩散机制，实现金属间化合物形貌和种类的可控制备，方法简单，可操作性强，为微型器件焊点性能的改良提供了一种切实可行的方法。