专利详情

专利名称	一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统
申请号	CN201420776166.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204356398U	公开（授权）日	2015.05.27
申请（专利权）人	重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	钟达;史浩飞;邵丽;张鹏飞;余杰
主分类号	C23C16/01(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/01(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I
专利有效期	一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统至一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于化学气相沉积方法转移石墨烯薄膜的工装系统，包括底板、与底板固定连接的固定柱、垫片、盖板的夹具和装液斗；所述垫片可以穿过固定柱，用于隔离石墨烯薄膜支撑层；所述盖板置于固定柱的顶部，用于配合装液斗的格挡柱防止夹具在催化基底进行刻蚀时，夹具漂浮到刻蚀液液面上；所述装液斗包括箱体和固定箱体上部的固定板，所述箱体设置有漏孔，所述固定板设置有机械手挂钩孔和格挡圆柱安装孔；所述底板、与底板固定连接的固定柱、垫片和盖板组装完成所形成的夹具放置于装液斗的箱体内部。本实用新型能够同时对多个生长有石墨烯薄膜的催化基底进行刻蚀，提高生产效率，同时通过装液斗和盖板的配合可以避免夹具在催化基底进行刻蚀时，夹具浮漂在刻蚀液液面上的情况。