专利详情

专利名称	图案化有机薄膜的制备方法
申请号	CN201510061759.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104659286A	公开（授权）日	2015.05.27
申请（专利权）人	中国科学院长春应用化学研究所	发明（设计）人	杨小牛;叶峰;赵晓礼;张通;吴凡;吕红英
主分类号	H01L51/56(2006.01)I	IPC主分类号	H01L51/56(2006.01)I;H01L51/00(2006.01)I
专利有效期	图案化有机薄膜的制备方法至图案化有机薄膜的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种图案化有机薄膜的制备方法，属于有机薄膜图案化技术领域。解决了现有技术中有机薄膜图案化的方法对待加工层进行激光刻蚀时，容易对与待加工层相邻的非加工层造成热损伤的技术问题。该方法首先在基底的上表面上制备图案化衬底薄膜层，然后在图案化衬底薄膜层和裸露的基底的上表面上制备单层或复合有机薄膜层，之后通过红外激光源逐点扫描单层或复合有机薄膜层，利用有机薄膜材料和衬底薄膜材料对红外光的吸收率的不同，使图案化衬底薄膜层吸收热量，将其上的单层或复合有机薄膜层的烧掉，裸露的基底的上表面上的单层或复合有机薄膜层被保留，得到图案化有机薄膜。该方法对激光器的脉冲宽度没有要求，加工质量容易保证，成本低。