专利详情

专利名称	一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统
申请号	CN201310563039.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104630737A	公开（授权）日	2015.05.20
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司	发明（设计）人	赵科新;赵崇凌;李士军;洪克超;徐宝利;张健;张冬;王磊;李松;林峰雪
主分类号	C23C14/56(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I
专利有效期	一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统至一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及玻璃、塑料和陶瓷基体上制备各类薄膜的技术领域，具体地说是一种在五腔体全自动电子束沉积系统中使用的传输系统。包括自动传输机构、升降气缸、样品载板及样品架，所述五腔体包括依次相连通的传输腔I、装载腔I、工艺腔、装载腔II及传输腔II，其中装载腔I、工艺腔及装载腔II内均设有升降气缸、样品载板及样品架，所述样品架与电机连接、并通过电机的驱动进行旋转，所述样品载板设置于样品架上，所述升降气缸对样品载板进行提拉或放下，所述自动传输机构携带样品载板在腔体间运动。本发明在产量高的同时，节约工艺腔在每次取换样品载板后的抽气时间，让工艺过程与取放样品载板同时进行。