专利详情

专利名称	一种CrN/Cr/Si₃N₄/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法
申请号	CN201310544712.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104630724A	公开（授权）日	2015.05.20
申请（专利权）人	中国科学院兰州化学物理研究所	发明（设计）人	胡明;伏彦龙;刘维民;翁立军;杨军;王德生;高晓明;姜栋;孙嘉奕
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I
专利有效期	一种CrN/Cr/Si₃N₄/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法至一种CrN/Cr/Si₃N₄/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种CrN/Cr/Si₃N₄/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法。薄膜具有4层结构，从基体材料表面到多层薄膜表面，多层薄膜依次为Cr层、非晶Si₃N₄层、致密Cr层和CrN层。该薄膜同时具有15GPa以上的硬度和良好的耐腐蚀防护性能。通过加入非晶Si₃N₄层以及致密Cr层，避免形成贯穿多层薄膜的针孔、微裂纹等组织缺陷，较好地解决了传统CrN薄膜耐腐蚀防护性能差的缺点。该多层薄膜适用于易锈蚀基体材料表面的抗磨损耐腐蚀防护。同时，该薄膜也适用于盐雾、高温高湿等易于造成腐蚀侵害的环境条件。

交易流程

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2、平台验证，实名审核

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4、专员跟进，交易保障

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