专利详情

专利名称	消除碲锌镉材料沉淀相缺陷的热处理装置
申请号	CN201420770463.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204325550U	公开（授权）日	2015.05.13
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	杨建荣;盛锋锋;徐超;孙士文
主分类号	C30B33/02(2006.01)I	IPC主分类号	C30B33/02(2006.01)I;C30B29/46(2006.01)I
专利有效期	消除碲锌镉材料沉淀相缺陷的热处理装置至消除碲锌镉材料沉淀相缺陷的热处理装置	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种消除碲锌镉材料沉淀相缺陷的热处理装置。装置包括石英管热处理腔体、双温区加热炉、配备N₂气源、H₂气源和Ar气源三种气源且可增压的高纯气体系统和样品热处理盒，通过使用样品热处理盒(含Cd源)和可增压惰性保护气体，在开管的热处理系统中为碲锌镉晶片提供了低泄漏和稳定的镉分压气相环境，晶片热处理温度控制在500℃到900℃之间，750℃富镉热处理的镉源损失量可控制在20mg/小时以下。该装置能用于减小碲锌镉晶片中沉淀相缺陷的尺寸，降低晶片表面沉淀相缺陷的密度，提高晶片在红外波段的透过率，同时在工艺上具备高效、低成本和多晶片同时处理等可批量生产的能力。