专利详情

专利名称	一种亚波长等离激元微腔光耦合结构
申请号	CN201420597469.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204332979U	公开（授权）日	2015.05.13
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	李倩;李志锋;陆卫;陈效双;李宁;陈平平;李天信;王文娟;甄红楼;王少伟;景友亮;廖开升
主分类号	H01L31/0232(2014.01)I	IPC主分类号	H01L31/0232(2014.01)I;H01L31/0216(2014.01)I
专利有效期	一种亚波长等离激元微腔光耦合结构至一种亚波长等离激元微腔光耦合结构	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种亚波长等离激元微腔光耦合结构，通过等离激元微腔对入射光的传播方向和光场分布进行调制，使入射光被限制在微腔中传播，减小了光的逃逸，提高了光子的利用率。入射光场被集聚在微腔中使得强度得到极大的增强，通过在微腔中夹持光电转换材料能够形成高响应率的光电探测器。该耦合结构由上层周期性金属条块形成的金属光栅层、光电转换激活层和下层金属反射层组成。本实用新型的优点是：利用上层金属光栅与下层金属反射层之间等离激元共振所形成的电磁波近场耦合微腔的模式选择效应，使得进入到微腔的光子沿横向传播并形成驻波，既集聚了光场能量又增加了等效光吸收的长度，使得探测器响应率得到极大地提升。