专利详情

专利名称	用于碲镉汞气相外延生长的多功能石墨舟
申请号	CN201420770619.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204325543U	公开（授权）日	2015.05.13
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	王仍;焦翠灵;徐国庆;陆液;张可锋;张莉萍;林杏潮;杜云辰;邵秀华
主分类号	C30B25/12(2006.01)I	IPC主分类号	C30B25/12(2006.01)I;C30B29/46(2006.01)I
专利有效期	用于碲镉汞气相外延生长的多功能石墨舟至用于碲镉汞气相外延生长的多功能石墨舟	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种用于碲镉汞气相外延生长的多功能石磨舟，该石墨舟由石墨底座、石墨盖板、石墨掩片、石墨垫片四本部分组成，石墨掩片和石墨垫片可分别放入石墨底座内，石墨盖板置于石墨掩片和石墨垫片上部，对石墨底座进行密封。该石墨舟可以用于碲镉汞气相外延生长，可以实现多片(衬底尺寸可以控制在10mm10mm～30mm30mm)、异型形貌(如长方形、圆形、三角形、环形等)、异型尺寸(各种不规则尺寸衬底)的碲镉汞气相外延生长。为碲镉汞选择区域生长奠定了基础，该方法可以应用于短波、中波和长波碲镉汞等温气相外延领域。