专利详情

专利名称	太赫兹波探测器
申请号	CN201510029446.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104596641A	公开（授权）日	2015.05.06
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	白龙;颜伟;杨富华
主分类号	G01J1/42(2006.01)I	IPC主分类号	G01J1/42(2006.01)I
专利有效期	太赫兹波探测器至太赫兹波探测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种太赫兹波探测器，以氮化镓高电子迁移率晶体管为基本结构，包括晶体管部分、源漏接触测试电极及引线部分、太赫兹波耦合天线部分，其中：所述太赫兹波耦合天线部分为耦合特定频率的天线，同时作为接触电极与所述晶体管部分的纳米结构栅极相连接；所述太赫兹波耦合天线部分位于所述晶体管部分的源极和漏极两侧，分别从两瓣天线之间引出源极和漏极的接触电极；所述晶体管部分的纳米结构栅极仅与所述太赫兹波耦合天线双狭缝开口的一侧相连接，所述晶体管部分的源极和漏极相对于太赫兹波耦合天线是非对称的。本发明通过使探测器天线的金属电极对入射太赫兹波的阻抗与晶体管栅极输入阻抗相匹配，实现对太赫兹波的高效、高灵敏度探测。