专利详情

专利名称	一种极紫外反射镜片的装调装置
申请号	CN201510075790.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104597581A	公开（授权）日	2015.05.06
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	陈进新;王宇;吴晓斌;谢婉露;王魁波;崔惠绒
主分类号	G02B7/198(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/198(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种极紫外反射镜片的装调装置至一种极紫外反射镜片的装调装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种镜片装调装置，用于安装和调节镜片(2)，其包括腔体(1)、镜片支撑架(3)、抱压系统(4)和支承系统(5)，腔体底壁具有通孔，镜片支撑架位于腔体内，用于支撑镜片，抱压系统用于将镜片固定在镜片支撑架上，支承系统从腔体的通孔穿入腔体，位于腔体内的部分与镜片支撑架的底部固定连接。支承系统包括上法兰、下法兰、波纹管和支承螺杆，上法兰、下法兰分别与波纹管的两端固定连接并且轴向对正，中心开有通孔。支承螺杆依次穿过腔体的通孔以及下法兰、波纹管、上法兰的轴心的通孔，抵顶镜片支撑架的底部。本发明能够实现镜片和镜片支撑架的三维调节，隔离真空抽气泵组对镜片的振动影响。