专利详情

专利名称	面向负载纳米催化剂的旋转反应器原子层沉积设备
申请号	CN201420771430.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204298460U	公开（授权）日	2015.04.29
申请（专利权）人	中国科学院山西煤炭化学研究所	发明（设计）人	覃勇;张斌;陈朝秋;赵世超
主分类号	C23C16/455(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/455(2006.01)I
专利有效期	面向负载纳米催化剂的旋转反应器原子层沉积设备至面向负载纳米催化剂的旋转反应器原子层沉积设备	法律状态
说明书摘要	一种面向负载纳米催化剂的旋转反应器原子层沉积设备的腔体由外腔体(1)和内腔体(2)组成，外腔体(1)内有内腔体(2)，在外腔体(1)的一端有进气管(9)，外腔体(1)的另一端连接有密封件(3),密封件(3)中间有通孔，通孔内有环形聚四氟内衬(5)，旋转导杆(7)穿过环形聚四氟内衬(5)与开有内腔体出气孔(11)内腔体(2)的一端使用固定螺丝连接，内腔体(2)?的另一端与进气管(9)活动连接，外腔体(1)的下部有出气管(10)，外腔体(1)通过支架固定于导轨上，密封件(3)通过导轨轮(8)与导轨连接。本实用新型具有沉积均匀，适合于大规模沉积，高质量和高产量的优点。