MEMS扫描振镜的磁场系统
- 申请号:CN201310479059.9
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 公开(公开)号:CN104570332A
- 公开(公开)日:2015.04.29
- 法律状态:专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
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专利详情
| 专利名称 | MEMS扫描振镜的磁场系统 | ||
| 申请号 | CN201310479059.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN104570332A | 公开(授权)日 | 2015.04.29 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明(设计)人 | 沈文江;余晖俊 |
| 主分类号 | G02B26/10(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B26/10(2006.01)I |
| 专利有效期 | MEMS扫描振镜的磁场系统 至MEMS扫描振镜的磁场系统 | 法律状态 | 专利实施许可合同备案的生效、变更及注销 |
| 说明书摘要 | 本申请公开了一种MEMS扫描振镜的磁场系统,包括MEMS扫描振镜芯片和至少一个磁体组,所述的每个磁体组包括分别位于所述MEMS扫描振镜芯片上下两侧的上磁体和下磁体,所述的上磁体和下磁体的相对面磁极同性。本系统优化了永磁体与振镜的相对位置,可以使MEMS扫描振镜的驱动平面上的磁感应强度达到最大。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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