专利详情

专利名称	液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法
申请号	CN201510016562.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104569369A	公开（授权）日	2015.04.29
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	于海涛;许鹏程;李昕欣;陈滢;包宇洋
主分类号	G01N33/50(2006.01)I	IPC主分类号	G01N33/50(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法至液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。