专利详情

专利名称	一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用
申请号	CN201310499686.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104557552A	公开（授权）日	2015.04.29
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	李嫕;郝青山;陈金平;曾毅;于天君
主分类号	C07C69/96(2006.01)I	IPC主分类号	C07C69/96(2006.01)I;C07C68/00(2006.01)I;C07C67/31(2006.01)I;C07C69/712(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I
专利有效期	一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用至一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃、正性光刻胶、正性光刻胶涂层及其应用。所述星形四苯基乙烯衍生物分子玻璃，具有如下分子结构：。该分子玻璃合成过程简单，适用于工业化生产，四苯基乙烯具有刚性结构的空间立体几何骨架，可以有效地抑制分子的结晶，易于成膜，该分子玻璃在各种极性溶剂中均有好的溶解性，且具有玻璃化温度高，热稳定性好的特点，能够更好的满足光刻工艺的要求。采用旋涂法（Spin?Coating）可制得良好的薄膜，可作为光刻胶与其他的添加剂配合制成正性光刻胶用于光刻。