专利详情

专利名称	无线无源非侵入式MEMS眼压传感器及其制作方法
申请号	CN201510065578.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104545794A	公开（授权）日	2015.04.29
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	王军波;刘丽娟;陈德勇
主分类号	A61B3/16(2006.01)I	IPC主分类号	A61B3/16(2006.01)I
专利有效期	无线无源非侵入式MEMS眼压传感器及其制作方法至无线无源非侵入式MEMS眼压传感器及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种非侵入式无线无源眼压传感器及其制作方法，所述眼压传感器包括：柔性衬底层、第一电极层、中间层、第二电极层和柔性衬底层，且所述中间层的一部分构成所述中央电容的介电层，所述第一电极层和第二电极层的对应部分构成所述中央电容的极板；所述柔性衬底层选用ParyleneC薄膜制作，所述中间层采用PDMS材料制作。本发明的整套工艺简单易行；采用额外的边缘电容实现电容与电感的串联，结构简单；传感器电极制作简单，所制备的电极电阻率低，有利于获取较高的品质因数，提高检测信号的信噪比。