专利详情

专利名称	一种电热致动器及其形成方法
申请号	CN201510020763.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104538544A	公开（授权）日	2015.04.22
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	孟超;黄璞;周经纬;杜江峰
主分类号	H01L41/08(2006.01)I	IPC主分类号	H01L41/08(2006.01)I;H01L41/332(2013.01)I
专利有效期	一种电热致动器及其形成方法至一种电热致动器及其形成方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本申请公开了一种电热致动器及其形成方法，在SOI的预设区域上蒸镀金属层，采用标准的半导体加工技术，将SOI的顶层硅加工成V字型结构的电热致动器，V字型结构的两端固定，V字型结构的内角部分与纳米线的固定端相对的活动端连接，且与纳米线一体成型。给电热致动器表面金属通电流，电流产生焦耳热使电热致动器温度升高产生热膨胀，由于电热致动器的两端固定，这样膨胀就会使得其尖端有平行于结构平面向外的移动，由此产生的位移与力将电热致动器和纳米线拉断形成一个裂结。通过在一个SOI加工多个电热致动器，然后对这多个电热致动器的表面金属同时通电流，就可以在一次实验中形成多个裂结，从而解决了量产过程时间浪费的问题。