成像椭偏仪的系统参数校准方法
- 申请号：CN201410810540.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN104535500A
- 公开(公开)日：2015.04.22
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 成像椭偏仪的系统参数校准方法 | ||
| 申请号 | CN201410810540.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN104535500A | 公开（授权）日 | 2015.04.22 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 曾爱军;胡仕玉;袁乔;顾帅妍;谷利元;黄惠杰;贺洪波 |
| 主分类号 | G01N21/21(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/21(2006.01)I |
| 专利有效期 | 成像椭偏仪的系统参数校准方法 至成像椭偏仪的系统参数校准方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种成像椭偏仪系统参数的校准方法，可校准成像椭偏仪的系统参数，包括起偏器的偏振方向、检偏器的偏振方向、左右光栅尺的原点位置。该校准方法过程简单、准确，重复性高。校准完成后，无需调整系统部件即可直接测量，从而简化测量过程、提高测量精度。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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