专利详情

专利名称	一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置
申请号	CN201410821887.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104536112A	公开（授权）日	2015.04.22
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	郭抗;倪明阳;陈华男;隋永新;杨怀江
主分类号	G02B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/00(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G02B7/182(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置至一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种桥式柔性铰链结构的光学元件轴向微动调整装置属于光刻物镜结构设计与装调技术领域，目的在于解决现有技术存在的需要结构空间大、驱动器使用多和结构设计制造困难的问题。本发明包括镜座连接件、镜框连接件和两组微动调整机构；两组微动调整机构设置在镜座连接件和镜框连接件之间，并关于Y轴对称，每组微动调整机构包括两组桥式柔性铰链和一组输入平行铰链；每组微动调整机构中的两组桥式柔性铰链通过输入平行铰链连接，并关于X轴对称；输入平行铰链将径向作用力F传递到桥式柔性铰链，桥式柔性铰链将径向作用力F转换为轴向作用力，并作用在镜框连接件上。本发明加工制作容易，驱动器沿光学元件的径向布置、调整结构设计制作容易。