专利详情

专利名称	光学超宽带增透膜的复合制作方法
申请号	CN201510010517.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104536064A	公开（授权）日	2015.04.22
申请（专利权）人	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所	发明（设计）人	王晋峰;王烨儒;田杰
主分类号	G02B1/115(2015.01)I	IPC主分类号	G02B1/115(2015.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	光学超宽带增透膜的复合制作方法至光学超宽带增透膜的复合制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	超宽带增透膜复合工艺方法，包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜；真空蒸镀成膜工艺：准备工作，清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料；抽真空；预热膜料；将膜料气化沉积到所述光学镜片表面；烘烤60分钟；进行氟化镁层蒸镀；在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀，蒸镀的膜层厚度为4纳米；步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺；步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。本发明减少了宽带增透膜的膜层数，拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺，膜层具有良好的疏水性和自清洁性能，有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法，在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。