专利详情

专利名称	一种移相干涉检测振动抑制方法
申请号	CN201410838076.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104534978A	公开（授权）日	2015.04.22
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	于杰;张海涛;马冬梅;金春水
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I
专利有效期	一种移相干涉检测振动抑制方法至一种移相干涉检测振动抑制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种移相干涉检测振动抑制方法，属于光学检测领域，为了提高干涉检测的重复性、复现性和精度，该方法为：步骤1，利用移相干涉仪采集一组N幅移相干涉图，N大于等于3，采用N步移相相位提取算法计算相位分布Ф₁；步骤2，利用移相干涉仪自身的移相器，调整干涉腔的腔长，使得腔长变化λ/8，待干涉仪稳定后采集一组干涉图，干涉图的数量与移相间隔与步骤1中的一致，采用与步骤1相同的算法计算出被测相位Ф2；同样步骤3和步骤4分别计算出被测相位Ф3和被测相位Ф4；步骤5，对步骤1、2、3和4获得的4次测量结果进行像素对像素的相位平均，计算得到平均相位；步骤6，利用公式计算得到平均波面W，完成整个测量。