专利详情

专利名称	一种曲面光学元件的离子束光滑方法
申请号	CN201510002043.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104526470A	公开（授权）日	2015.04.22
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李云;付韬韬;王安定;谢伟民;邢廷文
主分类号	B24B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B24B1/00(2006.01)I
专利有效期	一种曲面光学元件的离子束光滑方法至一种曲面光学元件的离子束光滑方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种用于曲面光学元件的离子束光滑方法，该方法步骤为：步骤(1)、检测初始面形，步骤(2)进行离子束预光滑试验，步骤(3)重新检测面形，计算材料移除速率，步骤(4)拟定正式光滑参数，步骤(5)、计算确定性预修形量，步骤(6)、进行确定性预修形，步骤(7)、进行正式离子束光滑，步骤(8)、取出工件，结束。所述方法能有效克服曲面光学元件进行离子束光滑的同时对原有高精度面形的破坏问题。该曲面光学元件的离子束光滑方法，既能保证原有高精度曲面的表面面形精度，又能有效提高光学元件的表面粗糙度。