专利详情

专利名称	一种分体式超精密空气静压单轴转台
申请号	CN201420631846.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204254186U	公开（授权）日	2015.04.08
申请（专利权）人	中国科学院苏州生物医学工程技术研究所	发明（设计）人	顾国刚;钟君
主分类号	F16M11/08(2006.01)I	IPC主分类号	F16M11/08(2006.01)I;F16M7/00(2006.01)I;F16C32/06(2006.01)I
专利有效期	一种分体式超精密空气静压单轴转台至一种分体式超精密空气静压单轴转台	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型是一种分体式超精密空气静压单轴转台，包括转台回转轴系、驱动轴系和工作台面，还包括有空气静压联轴节，所述驱动轴系通过空气静压联轴节连接并驱动转台回转轴系，所述工作台面同轴固接在转台回转轴系上，所述驱动轴系内设置有密珠轴承，所述密珠轴承的轴孔与驱动电机同轴固接，所述空气静压联轴节与密珠轴承的同轴固接，所述转台回转轴系内设置有径向空气静压轴承，所述径向空气静压轴承与空气静压联轴节同轴固接，在所述空气静压轴承的轴孔端面处同轴设置有止推空气静压轴承。采用本实用新型技术方案，安装精度要求降低，装调工艺简化，转台的回转精度和平面定位精度高，空气静压联轴节具有自动微调能力，运动精度高。