专利详情

专利名称	覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统
申请号	CN201420627332.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204259285U	公开（授权）日	2015.04.08
申请（专利权）人	中国科学院深圳先进技术研究院	发明（设计）人	于淑会;郭欧平;罗遂斌;孙蓉
主分类号	H05K3/06(2006.01)I	IPC主分类号	H05K3/06(2006.01)I
专利有效期	覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统至覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种覆铜板的蚀刻设备及覆铜板的蚀刻系统。该覆铜板的蚀刻设备，包括：图形蚀刻框，包括内框与外框，外框套设于内框外，且外框与内框之间存在间隙，外框与内框用于承载待蚀刻覆铜板的一端为图形蚀刻框的承载端，间隙为图形蚀刻框的蚀刻区；喷淋件，包括喷淋器，喷淋器的喷头设于蚀刻区内；固定件，包括抽真空装置及与抽真空装置连接的气管，气管的数目为多条，若干条气管远离抽真空装置的一端穿设于内框上，若干条气管远离抽真空装置的一端穿设于外框上，多条气管用于除去待蚀刻覆铜板与承载端接触处的气体。使用上述覆铜板的蚀刻设备可以得到较高的产品良率。