专利详情

专利名称	一种组合式等离子体片的产生装置
申请号	CN201410850782.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104507248A	公开（授权）日	2015.04.08
申请（专利权）人	中国科学院空间科学与应用研究中心	发明（设计）人	孙海龙;夏俊明;霍文青;徐跃民;孙简
主分类号	H05H1/24(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/24(2006.01)I
专利有效期	一种组合式等离子体片的产生装置至一种组合式等离子体片的产生装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种组合式等离子体片的产生装置，包括：阳极板(1)、组合式空心阴极(4)、真空放电腔体(2)和套设于该真空放电腔体(2)外的亥姆霍兹线圈(3)；所述的组合式空心阴极(4)与阳极板(1)相对、平行的设置于真空放电腔体(2)内；该组合式空心阴极(4)包括若干凹槽形阴极(5)和阴极顶板(6)；所有凹槽形阴极(5)均排列于阴极顶板(6)的下方，并通过水平移动凹槽形阴极(5)调节其生成的等离子体片(7)的位置。该装置能够同时产生多片的大面积、高密度等离子体片，除增加凹槽形阴极的数量外，不需增加额外设备，即可根据需要控制生成不同数量及位置的等离子体片组合。