专利详情

专利名称	一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪
申请号	CN201410820984.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104502067A	公开（授权）日	2015.04.08
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	齐向东;马振予;唐玉国;李晓天;于海利;崔继承
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪至一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种傅里叶变换平面光栅相对衍射效率测试仪属于光谱技术领域，目的在于解决现有技术出射光谱带宽不一致的问题，提高测量精度、简化操作步骤、提高测量效率。本发明的光源模块发出的光依次经入射孔和可选择光阑照射到凹面准直镜C后照射到转台上的参考平面反射镜或待测光栅后经凹面成像镜汇聚于出射孔；出射孔的出射光经离轴准直镜准直、分光立方体A分光、固定角锥体A及运动角锥体A反射后由离轴成像镜汇聚于主探测器；稳频激光器发出的激光经分光立方体B分光、固定角锥体B及运动角锥体B反射，汇聚在参考探测器；运动角锥体A和运动角锥体B一起做匀速直线运动，主探测器进行等光程差数据采集，对采集数据进行光谱还原、相对衍射效率计算。