专利详情

专利名称	采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统
申请号	CN201410833080.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104483725A	公开（授权）日	2015.04.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	高明辉;郑玉权;陈伟
主分类号	G02B3/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B3/02(2006.01)I;G02B5/18(2006.01)I
专利有效期	采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统至采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	采用非球面单透镜作为准直结构的光栅曝光系统，属于新型光学准直结构应用技术领域，为了解决现有光栅曝光系统无法满足曝光系统的精度要求问题，激光束投射到分光器，形成两束有一定角度的相干平行光，两束光分别两套完全相同的装置，其中一束光经过反射镜进入空间滤波器，去掉光学干扰后再进入准直结构，形成准直光后入射到光栅基底上，由于是两束相干平行光，它们在相干长度范围内相遇，产生出稳定的干涉条纹，将干涉条纹记录到光栅基底上；其特征是，所述准直结构为非球面单透镜，该非球面单透镜一面为非球面，另一面为平面，非球面满足下式R：非球面顶点的曲率半径；K：二次曲面系数，K>0；A＝B＝C＝D＝E＝F＝G＝H＝I＝0。