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非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置

  • 申请号:CN201410572503.6
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 公开(公开)号:CN104474855A
  • 公开(公开)日:2015.04.01
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置
申请号 CN201410572503.6 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN104474855A 公开(授权)日 2015.04.01
申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 王春锐;谢冀江;郭劲;潘其坤;邵春雷
主分类号 B01D53/75(2006.01)I IPC主分类号 B01D53/75(2006.01)I;B01D53/82(2006.01)I;B01D53/68(2006.01)I
专利有效期 非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置 至非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,属于激光器放电生成物处理技术领域。解决了现有激光器尾气处理装置结构大、吸附剂装卸复杂且相互影响、不便存储运输、污染环境的问题。该装置包括金属壳及一个以上的密封的净化单元,每个净化单元包括进气管、排气管及由从下至上依次排列的第一过渡仓室、第一仓室、第二仓室、第三仓室和第二过渡仓室组成的吸附剂仓室;金属壳上设有分别与第一仓室、第二仓室、第三仓室贯通的填料口,通过填料口分别装填和卸载第一仓室、第二仓室、第三仓室中的吸附剂;填料口上设有用于密封填料口的密封盖。该装置具有生成物处理彻底,设备体积小、重量轻,易于操作,方便维护,没有二次污染废水等优点。

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