专利详情

专利名称	具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟
申请号	CN201420597065.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204224738U	公开（授权）日	2015.03.25
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	王洋;胡淑红;吕英飞;戴宁
主分类号	C30B19/06(2006.01)I	IPC主分类号	C30B19/06(2006.01)I
专利有效期	具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟至具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种具有纯化母液功能的双衬底槽液相外延石墨舟，该石墨舟包括盖板、母液槽、双衬底槽滑板和主体槽，在双衬底槽滑板上有两个相邻的衬底槽A和B，按滑板移动方向，前一个衬底槽A装牺牲片,后一个衬底槽B装生长片，牺牲片用于纯化母液，生长片用于生长外延薄膜。本专利的优点在于：这种独有的双衬底槽石墨舟通过牺牲片纯化母液的手段，将有效降低母液中杂质对外延薄膜的影响，从而达到降低外延薄膜中的载流子浓度，提高外延薄膜的电学性能的目的。