专利详情

专利名称	一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统
申请号	CN201410766299.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104465283A	公开（授权）日	2015.03.25
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	邱清泉;屈飞;宋乃浩;张志丰;古宏伟;张国民;戴少涛;肖立业
主分类号	H01J37/07(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/07(2006.01)I;H01J37/34(2006.01)I
专利有效期	一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统至一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种超导强磁场磁控溅射阴极的低温冷却系统，由两个液氮存储杜瓦(1、5)、增压阀(2、6)、放气阀(3、7)、第一输液管道(4-1)和第一输液杆(4-2)、第二输液管道(8-1)和第二输液杆(8-2)、真空腔体(9)、磁体杜瓦上盖(10)，以及磁体杜瓦底座(11)组成。超导磁体(12)、外磁轭(13)、内磁轭(14)和底磁轭(15)安装在由磁体杜瓦上盖(10)和磁体杜瓦底座(11)所包围的密闭空间中，磁体杜瓦上盖(10)与阴极靶材(16)固定在一起，之间留有部分真空间隙(17)。超导磁体(12)由液氮迫流冷却；两个液氮存储杜瓦(1、5)交替工作，实现超导磁体(12)和阴极靶材(16)的冷却。