专利详情

专利名称	一种将石墨烯从金属表面向目标衬底表面无损转移的方法
申请号	CN201410779092.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104451592A	公开（授权）日	2015.03.25
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	张大勇;金智;史敬元;麻芃;王选芸
主分类号	C23C16/01(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/01(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I
专利有效期	一种将石墨烯从金属表面向目标衬底表面无损转移的方法至一种将石墨烯从金属表面向目标衬底表面无损转移的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种将石墨烯从金属表面向目标衬底表面无损转移的方法，包括：在金属铜表面生长石墨烯；在石墨烯表面涂覆PMMA薄膜，将铜基底漂浮于蚀刻剂溶液表面腐蚀去除铜得到PMMA/石墨烯复合薄膜；将通过摩擦带有静电的PET薄膜接近漂浮在液面的PMMA/石墨烯复合薄膜，利用静电作用使石墨烯/PMMA复合薄膜吸附在PET薄膜表面，然后将其与去离子水接触，同时使PET薄膜表面的静电释放，实现PMMA/石墨烯复合薄膜与PET薄膜的分离并使前者漂浮于水面；重复上述步骤，对石墨烯进行洗涤以完全除去石墨烯表面附着的铜蚀刻溶剂；最后将PMMA/石墨烯复合薄膜转移到目标衬底表面并溶解除去表面的PMMA。利用本发明，不仅可以实现大尺寸石墨烯的定位转移，同时可以大大降低石墨烯的破损率。