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相位掩模板自动切换装置

  • 申请号:CN201410810498.8
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN104459875A
  • 公开(公开)日:2015.03.25
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 相位掩模板自动切换装置
申请号 CN201410810498.8 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN104459875A 公开(授权)日 2015.03.25
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 叶青;王迪;李璇;蔡海文;瞿荣辉
主分类号 G02B6/02(2006.01)I IPC主分类号 G02B6/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期 相位掩模板自动切换装置 至相位掩模板自动切换装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种用于相位掩模板写入法刻写光栅的相位掩模板自动切换装置,由相位掩模板旋转切换夹具、步进电机、驱动电路与控制系统构成,本发明大大简化了光纤光栅刻写时的操作,可实现光纤光栅的自动化刻写,并且能够提高刻写光栅的质量与重复性。

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