专利详情

专利名称	一种用于磁控溅射的高低压转换装置
申请号	CN201410652562.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104451579A	公开（授权）日	2015.03.25
申请（专利权）人	中国科学院力学研究所	发明（设计）人	夏原;李光;朱洪亚
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	一种用于磁控溅射的高低压转换装置至一种用于磁控溅射的高低压转换装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种高低压转换装置，所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统；所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极，所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起；所述转轴带动传感器感应板在所述传感器感应装置的路径上转动，由传感器控制停止转动，由所述气动装置弹起整个所述转动系统，使输入输出电极连接，从而实现开关功能。本发明实现了在磁控溅射镀膜过程中多次转换偏压的要求。与现有的类似装置比较，此装置的电压转换更加安全可靠，能够实现高压绝缘和40-50kV高压冲击特性的开关，而且设计有自动控制系统，并合并到磁控溅射总控制系统中。