专利详情

专利名称	一种基体表面的CrN涂层制备方法
申请号	CN201410676157.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104451561A	公开（授权）日	2015.03.25
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	王永欣;叶育伟;李金龙;郭峰;薛群基
主分类号	C23C14/32(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种基体表面的CrN涂层制备方法至一种基体表面的CrN涂层制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种基体表面CrN涂层的制备方法。该方法利用多弧离子镀技术，以金属Cr为靶材，以N₂为反应气体，对Cr靶施加电流在基体表面沉积CrN涂层，在沉积过程中，控制基体负偏压呈梯度变化，一方面有利于提高CrN涂层的耐腐蚀性，另一方面有利于CrN涂层结构致密度，从而提高CrN涂层的硬度、耐磨损性能及承载能力。因此，该方法适用于高磨损高腐蚀作业环境中的基体，例如海洋环境作业的机械运动基础件等基体，能够提高基体的性能可靠性和使用寿命。