专利详情

专利名称	一种氧化锌纳米线阵列结构及其制备方法
申请号	CN201310400110.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104418380A	公开（授权）日	2015.03.18
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	贺蒙;张俊涛;李建业
主分类号	C01G9/02(2006.01)I	IPC主分类号	C01G9/02(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	一种氧化锌纳米线阵列结构及其制备方法至一种氧化锌纳米线阵列结构及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种氧化锌纳米线阵列结构的制备方法，该方法包括以下步骤：（1）将氧化锌、石墨粉和第一掺杂剂的混合物经过研磨后置于管式炉中的石英管中，并向该石英管中通入惰性气体和氧气的混合气体，进行第一次化学气相沉积，在石英管内生长出的掺杂的氧化锌微米带；（2）将石英管内的掺杂的氧化锌微米带转移到硅片上，并将锌粉和第二掺杂剂的混合物经过研磨后置于所述掺杂的氧化锌微米带的上游处，然后一起放入管式炉的石英管中，并向该石英管中通入惰性气体和氧气的混合气体，进行第二次化学气相沉积。根据本发明获得的氧化锌纳米线阵列结构价格便宜，结构优异，尺寸较大；在光电器件制备和集成工艺中具有一定的优势。