专利详情

专利名称	太赫兹波频谱检测器
申请号	CN201310410510.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104422517A	公开（授权）日	2015.03.18
申请（专利权）人	中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	孙建东;秦华;孙云飞;张宝顺
主分类号	G01J3/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/28(2006.01)I;H01Q1/22(2006.01)I
专利有效期	太赫兹波频谱检测器至太赫兹波频谱检测器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本申请公开了一种太赫兹波频谱检测器，以高电子迁移率晶体管为基本结构，高电子迁移率晶体管的沟道处设有天线，以产生太赫兹电场，天线与高电子迁移率晶体管集成设置，且与高电子迁移率晶体管的源极和漏极完全独立，天线包括第一天线和第二天线，第一天线连接于第一栅极，以调节二维电子气浓度；第二天线连接于第二栅极和第三栅极，以形成二维等离子体波谐振腔，第二栅极和第三栅极分别位于所述第一栅极的两侧。在太赫兹波辐照下，能在检测器两端形成开路电压或者短路电流信号，通过扫描栅压得到太赫兹频率。本发明可有效强化栅极对二维等离子体波的调控，实现对太赫兹波的高速、高效、高灵敏度和低噪声的频谱检测，且结构微型化、高度集成化。