专利详情

专利名称	一种CCD调制传递函数测量装置
申请号	CN201420560568.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204202849U	公开（授权）日	2015.03.11
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	薛勋;段亚轩;陈永权;赵建科;胡丹丹;张洁;李坤;徐亮;刘峰;田留德;潘亮;赛建刚;周艳;高斌;赵怀学;张周锋
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种CCD调制传递函数测量装置至一种CCD调制传递函数测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种CCD调制传递函数测量装置，该测量装置包括三维调整系统、光源和光处理单元；所述光处理单元固定在三维调整系统上，光处理单元包括目标狭缝和显微物镜；所述目标狭缝和显微物镜依次设置在所述光源的出射光路上，显微物镜包括两个面，其中一个面上设有螺纹，设有螺纹的面为像方，另一个面为物方；所述光源的出射光由像方入射，由物方出射。在本实用新型中，为获取线扩展函数提供了宽度小于1μm的高成像质量目标狭缝，通过获得的缩小的、高质量的目标狭缝，将此目标狭缝会聚于被测成像器件阵列之上，实现了精细采样，提高了测试精度。