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一种真空紫外灯的射频电离激发装置

  • 申请号:CN201420732503.3
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
  • 公开(公开)号:CN204204795U
  • 公开(公开)日:2015.03.11
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种真空紫外灯的射频电离激发装置
申请号 CN201420732503.3 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN204204795U 公开(授权)日 2015.03.11
申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所 发明(设计)人 李海洋;李林;刘骥巍
主分类号 H01J49/10(2006.01)I IPC主分类号 H01J49/10(2006.01)I;H01J49/16(2006.01)I
专利有效期 一种真空紫外灯的射频电离激发装置 至一种真空紫外灯的射频电离激发装置 法律状态
说明书摘要 本实用新型涉及一种真空紫外灯的射频电离激发装置,真空紫外灯腔体中充有惰性气体,通过该电离激发装置将惰性气体电离击穿后,透过光窗会发出特定波长的光。本实用新型设计的电离激发装置体积小巧、结构紧凑,适合于用作离子迁移谱仪中真空紫外灯电离源的电离激发。

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