专利详情

专利名称	基于管式炉的卷对卷气相沉积装置
申请号	CN201420304373.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204198848U	公开（授权）日	2015.03.11
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	汪伟;刘兆平
主分类号	C23C16/54(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/54(2006.01)I
专利有效期	基于管式炉的卷对卷气相沉积装置至基于管式炉的卷对卷气相沉积装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种基于管式炉的卷对卷气相沉积装置，包括管式加热炉、供气系统和真空泵组，管式加热炉包括炉体和设置在炉体内的反应腔体，还包括：设置在反应腔体外侧且与反应腔体两端分别密封连接的第一密封仓和第二密封仓，第一密封仓内设置有第一传动装置，第二密封仓内设置有第二传动装置，供气系统与反应腔体、第一密封仓和第二密封仓三者中的一个连通，且真空泵组与三者中另外两个中的一个连通，第一密封仓和第二密封仓内均设置有用于冷却第一密封仓、第二密封仓和反应基体的水冷装置。本方案提供的装置反应基体在反应腔内连续反应，实现反应基体的卷对卷气相沉积。