专利详情

专利名称	增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法
申请号	CN201410541559.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104404475A	公开（授权）日	2015.03.11
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	裴为华;国冬梅;陈远方;张贺;陈弘达
主分类号	C23C16/02(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/02(2006.01)I
专利有效期	增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法至增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种增强聚对二甲苯薄膜与金属层粘附性的方法，包括如下步骤：步骤1：取一待沉积的衬底；步骤2：在衬底上生长聚对二甲苯薄膜；步骤3：采用氧反应离子刻蚀工艺，将聚对二甲苯薄膜的表面制备成绒毛状纳米结构；步骤4：在制备成绒毛状纳米结构的聚对二甲苯薄膜上沉积金属，完成制备。本发明通过氧反应离子刻蚀工艺进行表面改性，在聚对二甲苯薄膜的表面形成绒毛状的纳米结构，提高聚对二甲苯薄膜的表面能，从而增强聚对二甲苯薄膜与金属层之间的粘结强度。