专利详情

专利名称	一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置
申请号	CN201420518689.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204165736U	公开（授权）日	2015.02.18
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	卢云君;唐锋;王向朝
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置至一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种物镜成像系统的波像差高精度测量装置，主要包含光源1、待测物镜成像系统10、辅助光学元件2～5、波前传感器6控制系统7～8和数据采集处理系统9。从光源1发出的光依次经过准直镜2、分光镜3、聚焦镜4、待测物镜成像系统10后，入射到标准球面反射镜5反射并原路返回至分光镜3，一部分透射至波前传感器6中，测量反射光所携带的波像差W1。通过控制模块将待测物镜系统10移出，调整标准球面反射镜5的位置，再一次测量反射光所携带的波像差W2。由W1-W2计算得到待测物镜系统的波像差的大小，有效的完成装置系统误差的标定测量并加以校正，提高了波像差测量精度。在本实用新型中，该装置不需要高精度的标准光源，降低了成本，系统结构紧凑，具有简单易于实现等优点。