专利详情

专利名称	一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法
申请号	CN201410767829.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104375392A	公开（授权）日	2015.02.25
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	邢莎莎;林妩媚;廖志杰;邢廷文
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法至一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种实现自由照明光瞳的微反射镜阵列控制方法，首先限制各微反射镜单元偏转角度初始值在一定的范围内，使得目标面上反射光斑靠近目标光强分布区域；将目标面实际光强分布与拟产生目标光强分布差值作为评价函数，将其按每点像素值大小分组；保持像素值满足收敛条件的点所对应微反射镜单元的偏转角度不变；对像素值不满足收敛条件的点，计算其所对应微反射镜单元的偏转角度的优化值，并更新评价函数，进一步筛选像素值不满足收敛条件的点，对优化值重新进行更新，直到收敛。采用本发明可快速，有效的返回微反射镜阵列驱动电压值，可实现不同照明模式间的快速切换。