专利详情

专利名称	纳米结构的引导组装方法
申请号	CN201410636657.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104370274A	公开（授权）日	2015.02.25
申请（专利权）人	中国科学院长春应用化学研究所	发明（设计）人	季生象;刘亚栋;李晓;保罗·富兰克林·内利
主分类号	B82B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	B82B3/00(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期	纳米结构的引导组装方法至纳米结构的引导组装方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种纳米结构的引导组装方法，包括以下步骤：在具有图案的基材上涂覆包含嵌段共聚物的材料，所述嵌段共聚物包含能形成立体复合物的嵌段；诱导所述嵌段共聚物在基材上相分离得到垂直于基底、贯穿整个薄膜厚度的纳米结构，形成纳米结构的图形。由于所述嵌段共聚物包含可生成立体复合物的嵌段，能够使两嵌段共聚物表现出三嵌段共聚物的特性，在图案周期比聚合物相分离周期大90％的化学图案上依然排列形成无缺陷的纳米结构，从而便于后续复杂图案的制备。在本发明提供的方法中，使用包含能够形成立体复合物的嵌段的两嵌段共聚物时，无需加入均聚物即可获得相区区域拉伸程度较大的纳米结构，并且无缺陷。