专利详情

专利名称	基于声光外差移相的准直镜后表面自标定共光路干涉仪
申请号	CN201410690424.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104359397A	公开（授权）日	2015.02.18
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	张文喜;相里斌;吕笑宇;李杨;伍洲;孔新新;周志盛;周志良;刘志刚
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	基于声光外差移相的准直镜后表面自标定共光路干涉仪至基于声光外差移相的准直镜后表面自标定共光路干涉仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于声光外差移相的准直镜后表面自标定共光路干涉仪，通过采用声光移频器外差干涉移相，有效避免干涉仪存在运动件，测量精度进一步提高，抗干扰性好，且研制难度与成本可以降低，尤其对于大口径面形的测量，相比机械驱动同样的优势更明显；同时，采用低频差外差干涉与高速面阵探测器连续采集，获得的信息量更丰富，更有利于精确解算相位，更有利于克服噪声等因素影响；另外，增加点衍射自标定光束，测量时用点衍射光预先标定参考镜，可以既降低了参考镜的精度要求，又提高了测量的精度，还降低了干涉仪研制的难度与成本。